最近几年利用微机电系统(MEMS;Micro Electro Mechanical
System)技术,在硅晶圆基板表面制作机电结构的技术备受关注,主要原因移动电话与WLAN(Wireless Local
Wireless Network)等无线通信,随着宽频化、高频化、全球化的技术进化,高频用射频元件(Radio Frequency
devices)成为不可或缺的关键性元件,尤其移动电话的RF单元必需使用高Q值,适合2~5GHz高频的FBAR滤波器(Film
Bulk Acoustic Resonator
filter)的发展,更是受到通信业者高度注意。有监于此本文要介绍FBAR滤波器(filter)、RF-MEMS开关(switch),以及MEMS可变电...